Кислород в чистом виде впервые получил английский химик, философ и священник Джозеф Пристли в 1771 и назвал его «чистым воздухом». Он в 1772 синтезировал ингаляционный анестетик - азота оксид. Первыми предложили использовать кислород для ингаляции британцы Эдмунд Гудвин (Edmund Goodwyn) и Чарльз Китэ (С. Kite), а также француз Франсуа Шозье (F. Chaussier). В 1788 г. Е Гудвин предложил нагнетать в мехи кислород, за что был удостоен золотой медали Британского союза по оживлению. В том же году Ч. Китэ получил серебряную медаль за использование «комплексного подхода к реанимации у взрослых», который включал проведение интубации трахеи и искусственную вентиляцию легких (ИВЛ) с применением кислорода, а также стимуляции диафрагмы электрическим током.

Баллоны со сжатым кислородом впервые появились в Лондоне в 1856 году, а баллоны со сжатым воздухом использовали пожарные команды еще с 1833 года. Кислород широко начали применять во время Первой мировой войны у больных, подвергшихся отравлению при применении химического оружия (удушливых газов). Только в 20-х годах прошлого века, когда еще не пользовалась популярностью рассылка whatsapp,  кислород начали использовать для лечения больных с дыхательной недостаточностью и, в частности, пневмонией. Несмотря на то, что эффективность этого метода была замечена почти сразу, механизм действия оксигенотерапии еще долгое время оставался неизвестным.

При использовании кислорода были быстро обнаружены и побочные эффекты. Так, у многих пациентов с обострением хронической обструктивной болезни легких бесконтрольное применение кислорода удручало дыхательный центр и усиливало гиперкапнию и ацидоз.